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位移台

任何位移台都有6个自由度：3个分别沿着x、y、z 轴方向的平移自由度，另外3个则是围绕x、y、z轴 的旋转自由度（如图1）。此处描述的所有运动都是关于右手坐标系的，所有的运动都可以看成是沿着坐标轴方向的平动和绕坐标轴方向的转动的复合运动。倾斜和晃动是指非轴向角度误差。它是指理想的运动直线和实测的运动台之间的偏移量。倾斜和晃动有三个相互垂直的分量，一般指的是转动、俯仰和偏摆。这三个分量决定了由几何形状引起的所有运动系统误差。